[实用新型]一种硅片转换装置

摘要

本实用新型公开一种硅片转换装置，其包括转换工位、上料工位和分料工位，转换工位包括第一硅片承载台、升降驱动装置以及硅片转换组件，上料工位设置于转换工位的一侧，包括第二硅片承载台和升降驱动装置，分料工位相对于上料工位设置于转换工位的另一侧，包括第三硅片承载台和升降驱动装置，硅片转换组件包括移动座、转换夹手和横移驱动装置，转换夹手包括对称设置于移动座上的两根转轴，转轴的一端连接有驱动其转动一定角度的旋转驱动装置，另一端安装有转换夹手。上述硅片转换装置不仅结构简单，结构紧凑，占用空间小；而且设计巧妙，转换效率高，升降过程平稳，提高了硅片转换过程的安全可靠性。