[实用新型]一种耐高温多弧离子真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 202021874404.0 申请日: 2020-09-01
公开(公告)号: CN213596384U 公开(公告)日: 2021-07-02
发明(设计)人: 李维林 申请(专利权)人: 视睿光学科技(东莞)有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32
代理公司: 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 代理人: 杨艳霞
地址: 523000 广东省东莞市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供一种耐高温多弧离子真空镀膜机,涉及真空镀膜技术领域。该耐高温多弧离子真空镀膜机,包括底座,底座底部固定连接有减震支撑腿,减震支撑腿内部套接有限位套筒,限位套筒内壁的底部固定连接有减震弹簧,减震弹簧顶部固定连接有固定托盘,底座上表面套接有减震杆且减震杆底部与固定托盘固定连接,底座内部设置有减震块,减震块内部设置有第一减震磁铁,第一减震磁铁底部固定连接有第二减震磁铁,底座上表面固定连接有真空镀膜室。该耐高温多弧离子真空镀膜机,通过减震弹簧、第一减震磁铁和第二减震磁铁的配合使用,解决了现有真空镀膜机大部分减震效果都不是很好,或多或少影响了质量和效率的问题。
搜索关键词: 一种 耐高温 离子 真空镀膜
【主权项】:
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