[实用新型]一种耐高温多弧离子真空镀膜机

说明书

本实用新型提供一种耐高温多弧离子真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。该耐高温多弧离子真空镀膜机，包括底座，底座底部固定连接有减震支撑腿，减震支撑腿内部套接有限位套筒，限位套筒内壁的底部固定连接有减震弹簧，减震弹簧顶部固定连接有固定托盘，底座上表面套接有减震杆且减震杆底部与固定托盘固定连接，底座内部设置有减震块，减震块内部设置有第一减震磁铁，第一减震磁铁底部固定连接有第二减震磁铁，底座上表面固定连接有真空镀膜室。该耐高温多弧离子真空镀膜机，通过减震弹簧、第一减震磁铁和第二减震磁铁的配合使用，解决了现有真空镀膜机大部分减震效果都不是很好，或多或少影响了质量和效率的问题。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种耐高温多弧离子真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD 激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。相对普通的离子镀镀膜机，多弧离子镀膜沉积速率快、效率高。采用数控的真空镀膜机加工质量稳定，减少劳动力。

温度是多弧离子真空镀膜中影响成品质量的的一个重要因素，现有真空镀膜机内的温度不均匀，进而影响成品质量，且现有真空镀膜机大部分减震效果都不是很好，或多或少影响了质量和效率，使用起来十分麻烦。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种耐高温多弧离子真空镀膜机，解决了上述背景技术中提到的现有真空镀膜机内的温度不均匀，进而影响成品质量，且现有真空镀膜机大部分减震效果都不是很好，或多或少影响了质量和效率，使用起来十分麻烦的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种耐高温多弧离子真空镀膜机，包括底座，所述底座底部固定连接有减震支撑腿，所述减震支撑腿内部套接有限位套筒，所述限位套筒内壁的底部固定连接有减震弹簧，所述减震弹簧顶部固定连接有固定托盘，所述底座上表面套接有减震杆且减震杆底部与固定托盘固定连接，所述底座内部设置有减震块，所述减震块内部设置有第一减震磁铁，所述第一减震磁铁底部固定连接有第二减震磁铁，所述底座上表面固定连接有真空镀膜室，所述真空镀膜室外表面一侧固定连接有安装门，所述安装门外表面远离真空镀膜室的一侧固定连接有把手，所述安装门外表面一侧固定连接有控制装置，所述控制装置内部设置有气压表，所述控制装置内部且位于气压表一侧固定连接有操控按键，所述真空镀膜室外表面一侧固定连接有多弧靶组件，所述真空镀膜室顶部固定连接有旋转电机，所述旋转电机底部活动连接有旋转轴且位于真空镀膜室内部，所述旋转轴外表面套接有第一转盘，所述旋转轴外表面套接有第二转盘且位于第一转盘下方，所述第一转盘底部和第二转盘顶部均固定连接有加热器，所述旋转轴外表面套接有旋转工架且位于第一转盘与第二转盘之间，所述真空镀膜室顶部固定连接有抽气管且位于旋转电机一侧，所述抽气管远离真空镀膜室的一端与抽气泵固定连接，所述抽气泵底部固定连接有真空装置。

优选的，所述减震支撑腿的数量为四个，均匀分布在底座的四角。

优选的，所述减震块的数量为两个，且都嵌接在底座内部。

优选的，所述旋转电机和抽气泵都与控制装置电性连接，且控制装置与外部电源线性连接。

优选的，所述多弧靶组件的数量为四个，且分布在真空镀膜室外表面的两侧。

优选的，所述加热器的数量为四个，两两分布在第一转盘底部和第二转盘顶部，且都与控制装置电性连接。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种耐高温多弧离子真空镀膜机。具备以下有益效果：