[实用新型]一种大尺寸公斤级碳化硅单晶生长用坩埚有效
| 申请号： | 202020782967.0 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN212895082U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 刘欣宇;袁振洲 | 申请（专利权）人： | 江苏超芯星半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B25/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 王佳妹 |
| 地址： | 225000 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大尺寸公斤级碳化硅单晶生长用坩埚，包括坩埚盖和坩埚体，所述坩埚盖与籽晶连接，坩埚体为碳化硅单晶生长腔体。针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于传统碳化硅晶体生长用坩埚不能同时解决大尺寸、公斤级、高质量的问题，提供一种新型圆台装侧壁开孔坩埚。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 公斤 碳化硅 生长 坩埚 | ||
【主权项】：
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