[发明专利]一种激光加工光路系统在审
申请号: | 202011635195.9 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112859394A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 董岱;郎经纬 | 申请(专利权)人: | 苏州科韵激光科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 215100 江苏省苏州市吴中区经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光加工光路系统,包括激光发射模块、照明模块、图像采集模块、第一分束模块和第二分束模块,激光发射模块用于出射激光光束,照明模块用于出射照明光束,图像采集模块用于采集样品的图像,当激光加工光路系统处于第一工作状态时,第二分束模块位于照明光束的传播路径之外,照明光束经第一分束模块后照射到样品,照明光束经样品反射形成的反射光束经第一分束模块后照射到图像采集模块,当激光加工光路系统处于第二工作状态时,激光光束经位于第二位置的第二分束模块后照射到样品。本发明实施例提供的激光加工光路系统,保证加工效果的同时,提高了到达到图像采集模块的反射光束的光强度,从而提高成像质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 加工 系统 | ||
【主权项】:
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