[发明专利]筒形半导体制程用高纯多晶硅锭的制备方法及制备装置在审
| 申请号： | 202011622914.3 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112853481A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 陈富伦 | 申请（专利权）人： | 陈富伦 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京华专卓海知识产权代理事务所(普通合伙) 11664 | 代理人： | 张继鑫 |
| 地址： | 222342 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种筒形半导体制程用高纯多晶硅锭的制备方法及制备装置，该方法包括：将制备筒形多晶硅锭所需的多晶硅原料装入到双层圆坩埚的内外层结构之间，将装有多晶硅原料的双层圆坩埚放入铸锭炉；对铸锭炉抽真空，打开加热器加热，直到多晶硅原料全部熔化成液体；使双层圆坩埚内的温度从圆坩埚底部向上逐渐上升形成温度梯度，以使熔化成液体的多晶硅原料逐渐结晶凝固；在结晶凝固完成后，通过退火冷却得到制备完成的筒形多晶硅锭。该种方案，多晶硅锭生产出来后就是筒形的，而通过筒形多晶硅锭生产相同尺寸的环状多晶硅时，投料量可以大幅度降低，同时，制备的筒形多晶硅锭的品质更好，其制备过程中，多晶硅原料的熔融时间以及能耗更低。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 制程用 高纯 多晶 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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