[发明专利]一种光探测器及制备方法在审

专利信息
申请号: 202011593312.X 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112701189A 公开(公告)日: 2021-04-23
发明(设计)人: 吕燕飞;彭雪;蔡庆锋;赵士超 申请(专利权)人: 杭州电子科技大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/109;H01L31/0392;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/24;C23C14/35;C23C16/30;C23C28/00
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 杨舟涛
地址: 310018 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种光探测器及制备方法,探测器包括WSe2薄膜材料、ZnTe薄膜材料、n‑Si基底和金属电极;所述的n‑Si基底上生长WSe2薄膜,WSe2薄膜上生长ZnTe薄膜,n‑Si基底、ZnTe薄膜表面分别生长金属电极。本发明制备的光探测器,以n型硅为基底,与集成电路工艺兼容;具有厚度薄、光响应快、可探测黄绿光到近红外波段光的优点。
搜索关键词: 一种 探测器 制备 方法
【主权项】:
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