[发明专利]版图Dense-3Bar-Dense结构的修正方法

摘要

本发明公开了一种版图Dense‑3Bar‑Dense结构的修正方法，包括：将版图中的Dense‑3Bar‑Dense结构选出，将Dense‑3Bar‑Dense结构中3Bar结构每根Bar的各边进行分解区分；选定出3Bar中每根Bar的各边，根据各边所处位置和版图的关键尺寸错位选择出不同长度的边段；对错位选定出来的3Bar的各个边分别进行目标图形优化处理；对进行目标图形优化处理后的版图添加曝光辅助图形。本发明在保证了Dense‑3Bar‑Dense结构的特征尺寸满足设计要求的前提下，降低了3Bar中间线的断线风险，避免了近距离的角对角的产生，并且能避免引起新的3Bar中间线断线和桥连缺陷，通过对Dense‑3Bar‑Dense结构添加曝光辅助图形，进一步提高该结构的景深。