[发明专利]一种金刚烷结构的光刻胶树脂单体及其合成方法在审

专利信息
申请号: 202011541790.6 申请日: 2020-12-23
公开(公告)号: CN112679462A 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 王尹卓;郭颖;李嫚嫚;潘惠英;贺宝元 申请(专利权)人: 上海博栋化学科技有限公司
主分类号: C07D319/06 分类号: C07D319/06;G03F7/027;G03F7/004
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201614 上海市松江*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种金刚烷结构的光刻胶树脂单体,涉及光刻胶树脂领域。树脂单体的结构式如下所示:其中R1和R2各自独立的为1~10个碳原子的烷烃,且R1和R2可通过共价键结合形成环状结构;R3为氢或者甲基。该树脂单体含有金刚烷结构,具有优良的抗刻蚀性能;优异的抗溶胀性能,提高了光刻图形的分辨率,抑制T‑top的产生;在193nm下具有很高的透明度,特别适用于193nm下的光刻操作。
搜索关键词: 一种 金刚 结构 光刻 树脂 单体 及其 合成 方法
【主权项】:
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