[发明专利]探针卡的制造方法及使用其制造的探针卡在审
| 申请号： | 202011536482.4 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN113049861A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 安范模;朴胜浩;宋台焕 | 申请（专利权）人： | 普因特工程有限公司 |
| 主分类号： | G01R3/00 | 分类号： | G01R3/00;G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清南道*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种探针卡的制造方法及使用其制造的探针卡，所述制造方法包括：在基础基板的表面形成临时层并在所述临时层的表面形成掩蔽材料层，之后进行图案化而形成开口区域，向所述开口区域填充导电性物质，并通过蚀刻工艺将除所述导电性物质之外的所述掩蔽材料层去除；制造多层配线基板，所述多层配线基板在内部包括多个垂直配线部及水平配线部，且包括由阳极氧化膜材质构成的阳极氧化膜配线基板；使附着有所述导电性物质的所述基础基板位于所述多层配线基板的探针连接垫上侧，并将所述导电性物质的一端接合到所述探针连接垫；以及通过使用蚀刻剂的蚀刻工艺将所述基础基板的所述临时层去除，并将所述导电性物质的另一端从所述基础基板分离。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 制造 方法 使用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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