[发明专利]一种颗粒分析方法、装置及颗粒分选设备在审
申请号: | 202011520297.6 | 申请日: | 2020-12-21 |
公开(公告)号: | CN112683758A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 潘文强;蓝科;于大维 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G01N15/14 | 分类号: | G01N15/14 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种颗粒分析方法、装置及颗粒分选设备。该颗粒分析方法包括:对待测样本中流过探测区域的多个待测颗粒进行第一光信号探测,并对第一光信号探测结果进行分析,确定待成像探测颗粒;对待测样本中流过所述探测区域的待成像探测颗粒进行成像探测。本发明的方案提高了颗粒分析准确率和分析效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 颗粒 分析 方法 装置 分选 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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