[发明专利]光子集成片上激光陀螺及其制备方法有效
| 申请号： | 202011508079.0 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112284370B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 陈福胜;齐志强;程俊;张熙;张政 | 申请（专利权）人： | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） |
| 主分类号： | G01C19/66 | 分类号： | G01C19/66 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 高兰 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成光学陀螺技术领域，特别涉及一种光子集成片上激光陀螺及其制备方法，光子集成片上激光陀螺包括：自上而下设置的电子集成层、光子集成层及衬底层；上层电子集成层采用SIP电学芯片；中层光子集成层采用异质集成；下层衬底层为硅片；光子集成层与电子集成层通过键合工艺完成电互连。光子集成片上激光陀螺的制备方法包括：在硅晶圆上制备楔形微环腔；制备氮化硅光波导并实现光互连；异质集成有源器件；在硅片的二氧化硅表层制备图形化金属实现电互连；集成SIP电学芯片。本发明提供的光子集成片上激光陀螺及其制备方法，解决了现有技术中存在的集成光学陀螺灵敏度较差，且集成度不高的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 子集 成片 激光 陀螺 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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