[发明专利]拼接式集成电路管芯

摘要

本发明题为“拼接式集成电路管芯”。本发明公开了一种可使用拼接式图像传感器管芯来实现的图像传感器。该拼接式图像传感器管芯可使用标线组中的一组物理图块，通过步进和重复曝光过程形成。物理图块可包括在图像传感器管芯上形成像素电路的中心图块以及在图像传感器管芯上形成非像素电路的外围图块。物理图块中的每个物理图块的尺寸可基于虚拟单位图块的整数倍来设定。因此，物理图块可具有不需要为最小物理图块的整数倍的尺寸。步进和重复曝光过程可使用虚拟单位图块的单位长度来相对于加工工具正确地定位管芯。