[发明专利]一种晶圆检测移动平台在审
| 申请号： | 202011482895.9 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112526311A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 梅力;胡冬云 | 申请（专利权）人： | 江苏卓玉智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226300 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆检测移动平台，包括底座和滑动座，所述底座上安装平行设置的第一滑轨和第二滑轨，底座上还安装第三滑轨，且第三滑轨设置于第一滑轨和第二滑轨之间，第一滑轨两端安装第一挡块，且第一滑轨端部与第一挡块之间通过第一锁紧螺栓固定，第二滑轨两端安装第二挡块，且第二滑轨端部与第二挡块之间通过第二锁紧螺栓固定，底座上方安装滑动座，本发明结构设计新颖，操作方便，能够实现对晶圆的前后和左右移动，能够提高晶圆检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 移动 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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