[发明专利]可动态调整姿态的晶圆清洗装置在审
| 申请号： | 202011472545.4 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112718619A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 许振杰;王同庆 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B13/00;H01L21/02;B08B3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可动态调整姿态的晶圆清洗装置，包括：晶圆旋转组件，用于支撑晶圆并驱动晶圆旋转，其包括主动辊轮和从动辊轮，所述主动辊轮上设置有用于检测晶圆转速的转速传感器；两个清洗刷，设置于晶圆的两侧并绕自身轴线滚动以对晶圆表面进行刷洗；清洗刷运动机构，用于带动所述两个清洗刷相向移动并以一定夹角夹持晶圆进行刷洗；控制器，其利用所述转速传感器检测晶圆的转速并在所述转速不属于正常范围时控制所述清洗刷运动机构调整所述两个清洗刷之间的夹角。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 调整 姿态 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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