[发明专利]一种平面反射镜光学薄膜的制备方法在审
申请号: | 202011385273.4 | 申请日: | 2020-12-02 |
公开(公告)号: | CN112458401A | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 钱佳琪;陈小刚 | 申请(专利权)人: | 苏州苏克新型材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;G02B5/08 |
代理公司: | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人: | 张一鸣 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种平面反射镜光学薄膜的制备方法,包括:镜面清理、镜面遮挡防护、镜面蒸镀处理,最终形成镜面中心介质高反射膜层和镜面外围金属反射膜层;具体流程是利用A1板遮挡及利用聚四氟乙烯挡片用高温胶与镜面粘结防护,利用乙醚及真空环境下离子束轰击清理,分区蒸镀形成中心介质高反射膜层和镜面外围金属反射膜层,通过对现有技术的改进,该方法具有镜面清理干净整洁、利于薄膜成型、镜面遮挡处理方便的优点,从而有效的解决了本发明在背景技术一项中提出的问题和不足。 | ||
搜索关键词: | 一种 平面 反射 光学薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
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