[发明专利]一种平面反射镜光学薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 202011385273.4 申请日: 2020-12-02
公开(公告)号: CN112458401A 公开(公告)日: 2021-03-09
发明(设计)人: 钱佳琪;陈小刚 申请(专利权)人: 苏州苏克新型材料有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24;G02B5/08
代理公司: 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 代理人: 张一鸣
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种平面反射镜光学薄膜的制备方法,包括:镜面清理、镜面遮挡防护、镜面蒸镀处理,最终形成镜面中心介质高反射膜层和镜面外围金属反射膜层;具体流程是利用A1板遮挡及利用聚四氟乙烯挡片用高温胶与镜面粘结防护,利用乙醚及真空环境下离子束轰击清理,分区蒸镀形成中心介质高反射膜层和镜面外围金属反射膜层,通过对现有技术的改进,该方法具有镜面清理干净整洁、利于薄膜成型、镜面遮挡处理方便的优点,从而有效的解决了本发明在背景技术一项中提出的问题和不足。
搜索关键词: 一种 平面 反射 光学薄膜 制备 方法
【主权项】:
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