[发明专利]光学面形局部大误差的补偿干涉测量装置与方法有效
| 申请号： | 202011382187.8 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN112504176B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 陈善勇;戴一帆;薛帅;翟德德;刘俊峰;彭小强;熊玉朋 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B9/02055 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学面形局部大误差的补偿干涉测量装置与方法，本发明补偿干涉测量装置包括干涉仪、二维姿态调整平台和三维平移台，所述干涉仪安装固定在二维姿态调整平台上，所述二维姿态调整平台安装固定在三维平移台上，所述干涉仪内部设有探测器以及内部光路系统，所述干涉仪的出光口设有球面镜头，且所述干涉仪的外部光路上安装有针孔板和补偿器，可用于光学面形局部大误差的补偿干涉测量，具有结构简单，光路容易对准的优点；本发明方法基于零位补偿的激光波面干涉原理，测量的分辨率和精度都很高，动态范围大，能测得全口径测量时无法解析的局部大误差，通过多个不同部位的测量数据的拼接，能获得被测镜面上全口径可解析的面形误差。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 局部 误差 补偿 干涉 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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