[发明专利]电镀液搅拌模块及包括其的晶圆电镀系统在审
| 申请号： | 202011377832.7 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112301409A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·贺·汪;林鹏鹏 | 申请（专利权）人： | 硅密芯镀（海宁）半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/10 | 分类号： | C25D21/10;C25D7/12 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;何桥云 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电镀液搅拌模块及包括其的晶圆电镀系统，电镀液搅拌模块包括电镀槽、旋转部和扰流部；旋转部定位于电镀槽内，并能够相对位于电镀槽内的晶圆表面旋转；扰流部设置在旋转部上，扰流部至少位于旋转部朝向晶圆的一侧，扰流部能够扰流电镀槽内的电镀液。本发明中的旋转部相对于定位槽旋转，定位槽起到对旋转部的限位作用，从而能够加强旋转过程的稳定性，能够将扰流部和晶圆表面之间的距离设计的更小值，而扰流部和晶圆表面之间的距离越小，扰流部起到的扰流效果越好，电镀液彼此之间的交换速度越快，从而提高集成技术的可靠性和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 搅拌 模块 包括 系统 | ||
【主权项】：
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- 本发明公开了一种电镀装置及电镀生产线，包括：电镀槽和夹持输送结构；其中，所述夹持输送结构设置在所述电镀槽的开口侧；夹持输送结构沿输送方向输送待镀膜，夹持输送结构包括至少两组夹持输送机构；夹持输送机构包括电镀夹、闭夹组件和开夹组件；在一个夹持输送机构上，闭夹组件和开夹组件沿着输送方向设置在夹持输送机构的两端；在沿待镀膜输送方向上，相邻的两个夹持输送机构中相互靠近的闭夹组件和开夹组件间隔设置且形成调节间隔。此结构通过设置有调节间隔；在待镀膜进入下一阶段的夹持输送机构时，其在上一阶段的夹持输送机构中电镀夹不同步产生的误差被校正；极大地解决了同步性的问题。
- 一种三维移动行车-202320817405.9
- 周锋;周建林;黄青 - 上海众新五金有限公司
- 2023-04-13 - 2023-08-04 - C25D21/10
- 本申请涉及一种三维移动行车，属于电镀车间技术领域，包括安装板，所述安装板的下端部固定连接有电动导轨，所述电动导轨的下端部滑动连接有安装座，所述安装座的下端部固定连接有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定连接有框架，所述框架的外侧固定连接有电机，电机的输出端固定连接有螺纹杆，螺纹杆的外侧螺纹连接有移动座。该三维移动行车，通过设置了电动导轨，使其安装座可左右进行移动，在安装座的下端部固定安装电动推杆，通过电动推杆，使其框架可上下进行移动，启动电机，电机带动螺纹杆进行转动，在辅助杆的限制下，移动座前后进行移动，同步带动活动小车，使其活动小车可三维进行移动，且需求成本小。
- 一种光学镜头外壳防氧化镀膜装置-202210019385.0
- 徐力 - 广东伊菲特光学科技有限公司
- 2022-01-10 - 2023-07-25 - C25D21/10
- 本发明涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种光学镜头外壳防氧化镀膜装置。本发明提供一种对多个镜头外壳进行镀膜的光学镜头外壳防氧化镀膜装置。一种光学镜头外壳防氧化镀膜装置，包括有底座、安装架、电解池、收集箱、下料机构和转动机构；底座上部右侧设有安装架，底座上侧设有电解池，电解池左部上侧与底座之间连接有收集箱，安装架下侧设有下料机构，下料机构上设有转动机构。本发明通过人们将五个镜头外壳分别放置在五个滚筒上，随后镜头外壳移动至电解池内部，使得反应完成的气体与镜头外壳接触，以此实现了对多个镜头外壳进行镀膜的效果，提高了工作效率。
- 一种飞巴挂具行走装置-202320432149.1
- 张荣汉 - 苏州台祥机电设备有限公司
- 2023-03-09 - 2023-07-25 - C25D21/10
- 本实用新型涉及一种飞巴挂具行走装置，包含龙门架、滑动设置在滑轨上且位于龙门架两端上部用于带动龙门架水平沿输送方向移动的滑动组件、设置在两组滑动组件其中一端处之间用于驱动滑动组件组件移动的平移驱动组件、设置在龙门架顶部的升降驱动组件、设置升降驱动组件输出端且位于龙门架内移动的提升架、设置在提升架底面两端用于将电镀产品提起带有V形卡槽的飞巴座、设置在提升架两端与龙门架内壁贴合处用于减少摩擦及防止晃动的导向轮组件；本实用新型通过导向轮组件有效的减少摩擦的同时还避免了运输或者升降的时候发生晃动，并且通过双驱动组件带动两组滑动组件同时运动有效避免了单边驱动导致两端移速不均匀的问题。
- 一种飞巴挂具升降机构-202320432275.7
- 张荣汉 - 苏州台祥机电设备有限公司
- 2023-03-09 - 2023-07-25 - C25D21/10
- 本实用新型涉及一种飞巴挂具升降机构，包含固定在地面的龙门架、设置在龙门架顶部的升降驱动组件、设置在升降驱动组件输出端上用于放置电镀产品的放置架；所述升降驱动组件的输出端通过链条与放置架连接；所述放置架顶面两端设置有带有V形安装槽用于放置电镀产品的飞巴座；所述龙门架两端均竖直设置有滑槽；所述放置架两端滑动设置在滑槽内；所述放置架位于滑槽内的两端处设置有用于防止放置架发生偏移的导向轮组件；所述龙门架两端位于升降驱动组件与放置架之间上均设置有链条导向组件；本实用新型通过设置导向轮组件能有效防止升降时发生偏移及减少摩擦提高使用寿命，并且通过设置链条导向组件有效的避免了升降时发生脱链的安全隐患。
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