[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法有效
| 申请号： | 202011299840.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112647046B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 齐英旭;郭宏伟;于上智;卓林海;王亚;周小康 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 尹红敏 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种蒸镀装置及蒸镀方法，蒸镀装置包括：承载台，包括主体部、升降部和由主体部围合形成的中空部，主体部具有承载面，升降部在垂直于承载面的方向上可伸缩地设于主体部；掩模组件，设置于承载台，掩模组件包括掩模框架和连接于掩模框架的掩模板，掩模板由中空部露出，掩模框架设置于承载面，以通过升降部的升降能够调节掩模框架与承载面的相对位置。在本发明实施例提供的蒸镀装置中，可以调节掩模板和待蒸镀基板的相对位置，提高掩模板和待蒸镀基板的对位精度，进而提高蒸镀精度。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
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