[发明专利]蒸镀设备及蒸镀方法在审
| 申请号： | 202011216077.4 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN112359325A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 翁志坤;冉忠堂;沈旭铭 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/30;C23C14/16;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 邓晔;宋俊寅 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀设备，包括：蒸镀室，在该蒸镀室中放置待蒸镀晶圆；以及蒸发源，利用该蒸发源，在待蒸镀晶圆表面蒸镀金属膜，该金属膜是由合金金属和稀土元素形成薄膜，利用该蒸发源，通过蒸发镀膜方式来添加稀土元素。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 方法 | ||
【主权项】：
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