[发明专利]一种基于频率选择表面的硅基光栅化栅极太赫兹探测器

摘要

本发明公开一种基于频率选择表面的硅基光栅化栅极太赫兹探测器，包括频率选择表面和光栅化栅极的MOS管；频率选择表面是一种二维周期单元形成的阵列结构的空间滤波器；每一个周期单元代表不同作用的频率选择表面单元；光栅化栅极的MOS管的栅极为光栅结构，金属源极经通孔与有源区连接；光栅化的栅极在耦合空间太赫兹辐射后，将空间太赫兹信号转化为交流电信号并传入MOS管的沟道中，在沟道中晶体管对交流信号检波，从而在漏极产生直流电信号，实现太赫兹信号探测。本发明通过频率选择表面可以很好地与光栅化栅极探测器相结合，同时对特定频段的太赫兹波有更高增益的响应。