[发明专利]一种光致抗蚀干膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202011121146.3 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN112099312A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 杨仁鸿;杨忠平;杨伟奕 | 申请（专利权）人： | 河源诚展科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;G03F7/09 |
| 代理公司： | 河源市华标知识产权代理事务所(普通合伙) 44670 | 代理人： | 郝红建;石其飞 |
| 地址： | 517000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光致抗蚀干膜，包括PET承载膜、抗蚀层和下层OPP膜；抗蚀层由按照重量份数计的以下组分构成：光引发剂1‑6份，粘合剂20～30份，可加聚单体5～40%，碱溶性树脂50‑80份，添加剂2～30份，热聚合抑制剂0.003～0.04份，所述碱溶性树脂由12‑17重量份的甲基丙烯酸、25‑40重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10‑30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、5‑15重量份的丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到。本发明提升了膜的品质，改善制备时的环境，提高安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光致抗蚀干膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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