[发明专利]一种光学镜头对位机构在审
| 申请号： | 202011110389.7 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN112255754A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 陶利权;于高洋;王洪建;刘盈楹;何川;张贵拓;范文斌;闫芸 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G02B7/04 | 分类号： | G02B7/04;G02F1/13;G03B13/34 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张延薇 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及在线检测技术领域，具体而言，涉及一种光学镜头对位机构。光学镜头对位机构包括三维线性对位结构和双轴角度对位结构；所述双轴角度对位结构设置在所述三维线性对位结构上。本发明通过三维线性对位结构实现对光学镜头的线性调整，通过双轴角度对位结构实现对光学镜头的角度调节，进而不需要对光学镜头进行反装，提高了光学镜头的调节效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 镜头 对位 机构 | ||
【主权项】：
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