[发明专利]一种基于轴锥透镜的激光微孔加工系统和方法有效
申请号: | 202011103526.4 | 申请日: | 2020-10-15 |
公开(公告)号: | CN112475638B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 刘芸;彭冬冬;朱文宇 | 申请(专利权)人: | 西安中科微精光子科技股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/382 | 分类号: | B23K26/382;B23K26/70 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 闫家伟 |
地址: | 710000 陕西省*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于轴锥透镜的激光微孔加工系统和方法,所述系统包括发射激光光束的激光器,在激光器的输出端以预设角度设置有二维光束偏转装置,二维光束偏转装置能够进行转动以使入射的激光光束发生微小偏折;在二维光束偏转装置的反射方向依次同轴设置有第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和聚焦透镜,第一轴锥透镜和第二轴锥透镜顶角相背且间距可调,聚焦透镜正对于加工平台。该激光微孔加工系统利用轴锥透镜的旋转对称特性,在加工过程中无需光学元件的机械转动,增加了系统的机械稳定性,提高了微孔加工精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 透镜 激光 微孔 加工 系统 方法 | ||
【主权项】:
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