[发明专利]一种LCP基材的离子束金属化方法及其制品在审
申请号: | 202011103013.3 | 申请日: | 2020-10-15 |
公开(公告)号: | CN112281118A | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 廖斌;陈琳;王国梁;罗军;庞盼 | 申请(专利权)人: | 廖斌;广东省广新离子束科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/20;G02F1/1333 |
代理公司: | 广州圣理华知识产权代理有限公司 44302 | 代理人: | 董觉非;张凯 |
地址: | 510663 广东省广州市黄*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种LCP基材的离子束金属化方法及其制品,其方法包括以下步骤:(1)表面预处理,清洗LCP基材表面;(2)制备过渡层,通过高能离子束系统完成高能金属离子处理,形成金属‑非金属混合层;(3)离子束沉积,通过低能离子束系统沉积低能金属离子,得到金属层,即可获得LCP基材金属板。本发明的高能离子源和低等离子源系统使作用在样品表面的束斑为具有一定能量的带正电的金属离子,沉积效果好,结合力高,即使金属层比较薄也就有非常强的剥离强度,具有广阔的市场应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 lcp 基材 离子束 金属化 方法 及其 制品 | ||
【主权项】:
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