[发明专利]敏感膜、MEMS麦克风及其制作方法有效
| 申请号： | 202011096066.7 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112235697B | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 夏贝贝;王景雪 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R7/02 | 分类号： | H04R7/02;H04R7/16;H04R19/02;H04R19/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 郭春芳 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种敏感膜、MEMS麦克风及其制作方法，该敏感膜包括感测部，用于感测振动信号；连接部，所述连接部环绕所述感测部设置，并用于固定所述感测部；动作部，所述动作部连接所述感测部和所述连接部，所述动作部的刚度小于所述感测部的刚度和/或所述连接部的刚度；以及补强部，所述补强部设于所述动作部。本发明技术方案旨在提高敏感膜的结构强度，降低敏感膜破裂失效的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 敏感 mems 麦克风 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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