[发明专利]一种太阳能光伏电池板生产用的硅片清洗装置在审
| 申请号: | 202011088841.4 | 申请日: | 2020-10-13 |
| 公开(公告)号: | CN112151425A | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
| 发明(设计)人: | 朱兰芬 | 申请(专利权)人: | 浙江欧亚光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人: | 曾勇 |
| 地址: | 314400 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明涉及太阳能光伏电池板技术领域,且公开了一种太阳能光伏电池板生产用的硅片清洗装置,包括机架,所述机架的外壁固定连接有伺服电机,所述伺服电机的内部插接有电机轴,所述电机轴的外壁套接有第一锥形齿轮,所述第一锥形齿轮的外壁啮合有第二锥形齿轮。该太阳能光伏电池板生产用的硅片清洗装置,通过卡块向上挤压卡座,卡座在向上运动的时候拉动传动轴向上运动从而带动第二传动齿轮与齿盘脱离、第一传动齿轮与齿盘啮合,第一传动齿轮带动齿盘反向转动,滑块带动喷头反向移动,滑块带动喷头自动往复运动对硅片进行清洗,不仅清洗效率高,而且自动化高,无需人工长时间操作装置,节约人力。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 太阳能 电池板 生产 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





