[发明专利]双折叠十字多维压电马达及其控制方法和扫描探针显微镜有效
| 申请号： | 202011073350.2 | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN112242797B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 郑少锋;陆轻铀;张晶;王纪浩;孟文杰;侯玉斌;冯启元;王泽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H02N2/02 | 分类号： | H02N2/02;H02N2/06 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 汪贵艳 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了双折叠十字二维压电马达及控制法，包括滑板、XY压电体架、X+、X‑、Y+、Y‑压电体，该XY压电体架在X、Y方向的两端分别称为X+和X‑端、Y+和Y‑端，X+压电体一端固定于X‑端，另一端为自由端并指向X+端，X‑压电体一端固定于X+端，另一端为自由端并指向X‑端，X+、X‑压电体一上一下构成双层折叠X压电体；Y+、Y‑压电体以类似的方式固定在XY压电体架上，构成双层折叠Y压电体；所述双层折叠X、Y压电体呈十字交叠状，和XY压电体架一同构成十字XY压电体，将四个压电体的自由端以大小相等的力压于滑板上。本发明还涉及利用其制成的三维压电马达和扫描探针显微镜。其优点是：压电体利用率高，推力大，尺寸小，弹力自调节，行程广，工作温区大。 | ||
| 搜索关键词： | 折叠 十字 多维 压电 马达 及其 控制 方法 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
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