[发明专利]一种用于半导体光刻的多功能高产能吸盘有效
| 申请号： | 201510253487.9 | 申请日： | 2015-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN104914679B | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 宋耀东;项宗齐;方林;何少锋 | 申请（专利权）人： | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16B47/00 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230601 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一一种用于半导体光刻的多功能高产能吸盘，包括有下吸盘，下吸盘上固定有上吸盘，上吸盘上设有十字定位槽，十字定位槽内嵌装有十字定位支架；十字定位支架的正面中心设有十字凸起，所述十字定位槽的槽底开有与十字凸起位置对应的十字凹槽；十字定位支架背面朝上时，其顶面与上吸盘表面位于同一水平面上或位于十字定位槽内；十字定位支架正面朝上时，十字凸起部位高出十字定位槽外。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 光刻 多功能 产能 吸盘 | ||
【主权项】：
1.一种用于半导体光刻的多功能吸盘，其特征在于：包括有下吸盘，下吸盘上固定有上吸盘，上吸盘上设有十字定位槽，十字定位槽内嵌装有十字定位支架；十字定位支架的正面中心设有十字凸起，所述十字定位槽的槽底开有与十字凸起位置对应的十字凹槽；十字定位支架背面朝上时，其顶面与上吸盘表面位于同一水平面上或位于十字定位槽内；十字定位支架正面朝上时，十字凸起部位高出十字定位槽外。
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