[发明专利]柔性掩膜版和蒸镀装置在审
| 申请号： | 202011059807.4 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112226730A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 谢铭;李明胜;郑红 | 申请（专利权）人： | 广州国显科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人： | 丁建春 |
| 地址： | 511300 广东省广州市增城区永*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种柔性掩膜版和蒸镀装置，其中，所述柔性掩膜版可卷曲。通过上述方式，可以为动态蒸镀提供技术支持，且可以提高蒸镀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 掩膜版 装置 | ||
【主权项】：
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