[发明专利]一种片库装置有效
| 申请号： | 202011051862.9 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN114326314B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 刘凯 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种片库装置，其属于光刻机技术领域，片库装置包括机架、片盒和罩壳，机架具有容置腔，所述容置腔的一侧具有供取片的第一开口；片盒设置于所述容置腔内；罩壳设置于所述容置腔内且罩设于所述片盒的外侧，所述罩壳具有第二开口，所述罩壳能够绕第一轴线相对于所述机架转动以使所述第二开口朝向所述第一开口以使所述片盒能被存取。罩壳转动打开和关闭时占用空间较小，罩壳不仅可以对片盒进行密封，也能够防止外部的污染物进入光刻机内部，同时能够防止光刻机曝光时激光泄露。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
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