[发明专利]铜镉锌锡硒光吸收层及其制备方法、短波红外探测器在审
| 申请号： | 202011039226.4 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112281119A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 汪智伟;周长著;冯叶;黄建平;庞硕;黎年赐;杨春雷 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/58;C23C14/18;C23C14/35;C23C14/08;C23C26/00;C23C28/00;H01L31/032 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;黄进 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铜镉锌锡硒光吸收层的制备方法，其包括：提供基底置于共蒸镀腔室中，将基底加热至预定温度；在第一时间段内，使Cu、Zn、Cd、Sn和Se同时蒸发而蒸镀到基底上；在第二时间段内，使Zn、Cd、Sn和Se同时蒸发而蒸镀到基底上；在第三时间段内，使Sn和Se同时蒸发而蒸镀到基底上；在第四时间段内，使Se蒸发而蒸镀到基底上，冷却后获得蒸镀材料层；将蒸镀材料层进行退火处理，获得铜镉锌锡硒光吸收层。本发明还提供了如上制备方法获得的铜镉锌锡硒光吸收层以及包含该铜镉锌锡硒光吸收层的短波红外探测器。本发明可以使得铜镉锌锡硒光吸收层的晶粒更大而晶界减少，其应用于短波红外探测器中可以提高探测器的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 铜镉锌锡硒 光吸收 及其 制备 方法 短波 红外探测器 | ||
【主权项】：
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