[发明专利]一种精准测量弱刚性薄形零件厚度的装置及方法

摘要

本发明属于弱刚性薄形零件检测技术领域，具体涉及一种精准测量弱刚性薄形零件厚度的装置及方法。该装置包括基板，基板上设有与基板转动配合的真空回转工作台，真空回转工作台的两侧对称设有两个竖直导轨，两个竖直导轨之间设有横向导轨，横向导轨的两端分别与竖直导轨滑动连接；横向导轨上设有与横向导轨滑动连接的测量探针。本发明通过旋转真空回转工作台和调整测量探针的横向位移，对置于真空回转工作台上的弱刚性薄形零件的两个测量面对应的各个位点的坐标进行螺线式扫描检测，通过计算得到待测零件各个检测位点的厚度值，从而获取弱刚性薄形零件表面的形变信息，对弱刚性薄形零件的加工应用具有重要指导作用。