[发明专利]VGF工艺制备砷化镓晶体的方法在审
| 申请号： | 202010978963.4 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN111962139A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 马金峰;周铁军 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/42 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开提供一种VGF工艺制备砷化镓晶体的方法。包括步骤：步骤一，将装在一起的第一PBN坩埚和第二PBN坩埚装入石英管中，第一PBN坩埚装在第二PBN坩埚内，第二PBN坩埚的壁厚大于第一PBN坩埚的壁厚，第一PBN坩埚装有籽晶和砷化镓多晶料但第一PBN坩埚中不装入氧化硼；步骤二，抽真空密封石英管；步骤三，把密封好的石英管装入长晶炉中；步骤四，启动长晶程序长砷化镓单晶的晶棒；步骤五，长晶完成后，将石英管取出破碎，将晶棒与第一PBN坩埚一起从第二PBN坩埚中取出；步骤六，磨掉晶棒表面的第一PBN坩埚，切掉晶棒的头部与尾部部分，得到砷化镓单晶。在本公开中，在长晶过程中不装入氧化硼、采用嵌套的第一PBN坩埚和第二PBN坩埚，杜绝采用氧化硼时氧化硼引入硼元素。 | ||
| 搜索关键词： | vgf 工艺 制备 砷化镓 晶体 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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