[发明专利]一种钛基稀土合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202010970959.3 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112144030A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 鲁涛 | 申请（专利权）人： | 上海晶维材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C14/00;C22C1/02;C22F1/18;C22F1/02 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 200333 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种钛基稀土合金薄膜吸气剂靶材及其制备方法，该钛基稀土合金薄膜吸气剂靶材的合金配方包括：钛基二元合金配方TiREx(wt％)、钛基三元合金配方TiRE1xRE2y(wt％)、钛基四元合金配方TiRE1xRE2yRE3z(wt％)、大于四元合金的钛基多元稀土元素的复合添加；其制备方法如下：将上述合金配方通过真空熔炼制备合金铸锭、对铸锭进行致密化处理、靶材尺寸加工，在磁控溅射上进行溅射，制备成吸气薄膜，吸气剂薄膜的激活温度250～450℃，激活时间15～120min，初始吸氢速率18～80ml/s.cm |
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| 搜索关键词： | 一种 稀土 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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