[发明专利]支持高集成度的其中具有堆叠结构的半导体装置在审

专利信息
申请号: 202010965562.5 申请日: 2020-09-15
公开(公告)号: CN113224081A 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 李相在;金在炯;殷东锡 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/11582 分类号: H01L27/11582;H01L27/1157
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 刘美华;韩芳
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 提供了具有堆叠结构的半导体装置。所述半导体装置包括在下堆叠结构上延伸的上堆叠结构,下堆叠结构在下面的基底上延伸。沟道结构延伸通过上堆叠结构和下堆叠结构。下堆叠结构包括设置为与下堆叠结构和上堆叠结构之间的界面相邻的第一下电极层以及设置为与下堆叠结构的中心相邻的第二下电极层。上堆叠结构包括设置为与界面相邻的第一上电极层以及设置为与上堆叠结构的中心相邻的第二上电极层。第一下电极层和第一上电极层中的至少一个比第二下电极层厚。至少一个绝缘层设置在第一下电极层与第一上电极层之间。
搜索关键词: 支持 集成度 其中 具有 堆叠 结构 半导体 装置
【主权项】:
暂无信息
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