[发明专利]一种半导体测试设备有效
| 申请号： | 202010962414.8 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN111830401B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 曹锐;杜建;裴敬;邓标华 | 申请（专利权）人： | 武汉精鸿电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 唐勇 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种半导体测试设备，属于半导体测试设备技术领域，包括：主体，其包括至少一个测试箱，测试箱中至少设有一个测试腔，所述测试腔顶部开口，开口处设有用于封闭测试腔的上盖，且测试腔内设有水平设置的测试板；上盖驱动组件，其与上盖连接，并用于打开或关闭上盖；上下料装置，其位于主体的上方，当上盖驱动组件打开上盖时对测试板进行上料或下料。本申请对半导体芯片进行老化测试时无需插拔测试板，提高了测试板的使用寿命。且上盖驱动组件能够自动打开和关闭上盖，上下料装置能够自动上下料，可实现无人化作业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 测试 设备 | ||
【主权项】：
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