[发明专利]一种用于微移液管微纳制造检测的湿度控制系统有效
| 申请号： | 202010889793.2 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112099546B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 庄健;廖晓波;郑强强;程磊 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G05D22/02 | 分类号： | G05D22/02;G05B11/42;G05B13/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 马贵香 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于微移液管微纳制造检测的湿度控制系统，采用缓冲室和工作室的双结构设计，利用缓冲室进行干湿气体的预混合，在工作室内中间固定有用于沉积的金属板，采用隔板将工作室内分为工作盒上气室和工作盒下气室，确保工作上室湿度的均匀性，减小气流对沉积点扰动影响，缓冲室的出气口通过管道连通至工作室内，工作室内的管道进气口位于隔板下端，并且在隔板上开设多个通气孔，利用多个气孔防止气体上升对上腔式内进行扰动，并且能够提供持续稳定的温湿度环境；通过双缓冲盒结构解决微纳制造中的微环境湿度控制，同时使得气流对微小液滴的扰动最小，金属阳离子浓度均衡，沉积速率稳定，沉积出的铜柱形态结构美观，边缘结构沉积规则。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微移液管微纳 制造 检测 湿度 控制系统 | ||
【主权项】：
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