[发明专利]一种用于微移液管微纳制造检测的湿度控制系统

权利要求书

1.一种用于微移液管微纳制造检测的湿度控制系统，其特征在于，包括缓冲室(4)和工作室(23)，缓冲室(4)的进气口连接干空气源和湿空气源；工作室(23)内中间固定有用于沉积的金属板(13)，工作室(23)内位于金属板(13)下端设置有隔板(19)，隔板(19)上开设有多个通气孔；缓冲室(4)的出气口通过管道连通至工作室(23)内，缓冲室(4)与工作室(23)之间的管道上设有混合气体泵(10)，工作室(23)内的管道进气口位于隔板(19)下端；工作室(23)的上端盖设置有微位移执行器(15)，微位移执行器(15)内设置有毛细管探针(14)，毛细管探针(14)连接直流电源(17)，金属板(13)通过微电流计(18)连接直流电源(17)，工作室(23)的下端设有两个对立设置的进气口，缓冲室(4)的出气口与工作室(23)的两个进气口分别通过管道连接，其中一个管道上设置有第一混合气体流量计(20)，另一个管道上设置有第二混合气体流量计(22)，缓冲室(4)的第一进气口通过管道连接至洗气瓶(3)，洗气瓶(3)的入气管道上设置有湿空气气泵(2)，洗气瓶(3)的入气管道浸入洗气瓶(3)内的液体内，洗气瓶(3)的出气管道连通至缓冲室(4)内，洗气瓶(3)的出气管道位于洗气瓶(3)内一端位于洗气瓶(3)内液面上端；洗气瓶(3)的出气管道上设有湿空气流量计(1)；缓冲室(4)的第二进气口通过管道连通至干燥管(7)的出气管道上，干燥管(7)的出气管道上设有干空气气泵(8)；干燥管(7)的出气管道上还设有干空气流量计(9)。

2.根据权利要求1所述的一种用于微移液管微纳制造检测的湿度控制系统，其特征在于，缓冲室(4)内设有搅动风扇(6)。

3.根据权利要求1所述的一种用于微移液管微纳制造检测的湿度控制系统，其特征在于，缓冲室(4)的第二进气口和缓冲室(4)的第一进气口位于同一侧，缓冲室(4)的出气口位于第一进气口的对面侧壁上。

4.根据权利要求1所述的一种用于微移液管微纳制造检测的湿度控制系统，其特征在于，缓冲室(4)内设有多个用于获取缓冲室(4)内各位置的温湿度信息的第一无线温湿度传感器(5)。

5.根据权利要求1所述的一种用于微移液管微纳制造检测的湿度控制系统，其特征在于，工作室(23)内顶部设有多个用于获取工作室(23)内各位置的温湿度信息的第二无线温湿度传感器(16)。