[发明专利]真空镀膜控制系统及其控制方法、真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202010887999.1 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112126907B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 冀鸣;林秀刚;刘伟基;赵刚;易洪波;张军;陈文俊 | 申请（专利权）人： | 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南3*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种真空镀膜控制系统及其控制方法、真空镀膜设备，其中该真空镀膜控制系统，应用于真空镀膜设备中，包括：工控机以及光谱测试仪；所述光谱测试仪安装在真空镀膜设备的真空室内部，所述工控机与所述光谱测试仪通讯连接；所述光谱测试仪用于在真空镀膜设备镀膜过程中实时检测目标产品成膜的光谱参数并发送至所述工控机；所述工控机用于依据保存的功率误差校验曲线校正真空镀膜设备的输出功率，以及将所述光谱参数与预设的光谱参考值进行比较并修正所述功率误差校验曲线。该技术方案能够实现自动化的监测和校正，找出最合适的输出功率，以提升镀膜效果，而且可以获取到更加精准的输出功率值。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 控制系统 及其 控制 方法 设备 | ||
【主权项】：
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