[发明专利]一种二氧化硅加载条型光波导集成结构及其制备方法有效
| 申请号： | 202010887032.3 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111983750B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 张秀全;王金翠;刘桂银;李真宇;张涛;杨超;孔霞 | 申请（专利权）人： | 济南晶正电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122;G02B6/13;G02B6/134;G02B6/132;G02F1/035 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区港*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供的一种二氧化硅加载条型光波导集成结构及其制备方法，包括依次层叠的衬底层、隔离层、光调制层和功能薄膜层；光调制层包括加载条型光波导，以及包覆加载条型光波导的掺杂包层，其中，掺杂包层为掺杂无机材料，加载条型光波导为二氧化硅材料，加载条型光波导与掺杂包层的折射率差大于等于0.01；其中，加载条型光波导的底表面与掺杂包层的底表面在同一水平面，加载条型光波导的顶表面与掺杂包层的顶表面在同一水平面。光可以被限制在折射率大的加载条型光波导内传输。同时，由于本申请实施例中的加载条型光波导与光纤芯层材料相同，均为二氧化硅材料，因此，当光纤耦合至加载条型光波导时，属于相同材料之间的耦合，耦合损耗低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二氧化硅 加载 条型光 波导 集成 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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