[发明专利]一种激光剥离方法及装置有效
| 申请号： | 202010878633.8 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112975117B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 汪庆;许时渊;范春林;张杨 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/067;B23K26/36;H01L21/683;H01L33/00;H01L33/48 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 李发兵 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光剥离方法及装置，该激光剥离装置包括：激光发射装置，分光装置及第一激光反射单元；激光发射装置向分光装置辐射激光束，分光装置将激光束分为射向待剥离物的第一激光束和射向第一激光反射单元的第二激光束，第一激光束的能量大于第二激光束，第一激光束被配置为使待剥离物中的微元件和生长基底分离；第一激光反射单元将第二激光束反射至微元件，以去除经第一激光束作用后的微元件上的残留物；通过分光装置将激光束分成两束激光，将待剥离物中的微元件和生长基底进行激光剥离的同时，充分去除微元件上的残留物，使得微元件和生长基底充分剥离的同时进行残留物的去除，有效提高工艺效率，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 剥离 方法 装置 | ||
【主权项】：
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