[发明专利]一种研磨方法在审
| 申请号： | 202010796632.9 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN111906684A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 力健中 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳虹 |
| 地址： | 250101 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种研磨方法，包括提供控片，控片具有待研磨表面，利用研磨垫对待研磨表面进行修饰，研磨垫和待研磨表面之间设置有强碱性质的研磨液。也就是说，在研磨垫和控片之间设置有强碱性质的研磨液，在对待研磨表面进行修饰的过程中，可以提高化学反应对待研磨表面的影响，利于对待研磨表面进行研磨，从而提高待研磨表面的平整度，减少待研磨表面的杂质，提高研磨效率，减少研磨次数，提高控片的回收效率，降低回收成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 方法 | ||
【主权项】：
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