[发明专利]一种涂层成膜速率的检测方法

摘要

本发明属于成膜速率检测领域，公开了一种涂层成膜速率的检测方法，包括以下步骤：一、在成膜腔室内设置检测板、检测模块和处理模块，所述处理模块与检测模块信号连接；二、将待测工件放置在检测板上，并用镀膜设备镀膜，在形成膜层的过程中，用磁控装置向待测工件施加垂直的磁场B，用电源模块施加垂直于磁场B方向的电流I，检测模块用于检测磁场B和电流I；三、根据电流I、磁场B、以及电动势U信息获得待测工件成膜的厚度信息；四、通过计算即可以算出单位时间内待测工件的厚度变化情况，进而能够获得待测工件上涂层成膜速率。本方案可以实现对成膜腔室内成膜速率的实时监控，且操作简单、成本低。