[发明专利]一种三坐标测量机接触式探头在审
| 申请号： | 202010748967.3 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111765840A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 王宗省;刘珠荣;于明州 | 申请（专利权）人： | 青岛信号栅精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/008 | 分类号： | G01B7/008;G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市高新区松*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三坐标测量机接触式探头，具体涉及三坐标测量机领域，包括探头外壳，所述探头外壳底部设有测量机构和测球，且测球位于测量机构底部，所述测量机构包括连接杆、连接片和传感器靶片，所述传感器靶片活动连接于连接杆与连接片之间，所述连接杆与测球之间固定连接，所述连接片远离传感器靶片的一端固定设有固定片，且固定片与探头外壳底部固定连接，所述传感器靶片顶部固定设有电容传感器。本发明通过设置测量机构，可使三坐标测量机的测量分辨率达3nm，量程达20μm，提高了三坐标测量机的精度，可用来测量非接触式探头所不能测量或者测不准的具有斜面、台阶、深孔、倒角、圆弧、透明体等特征的工件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坐标 测量 接触 探头 | ||
【主权项】：
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