[发明专利]PERC电池的背抛光方法有效

专利信息
申请号: 202010713517.0 申请日: 2020-07-22
公开(公告)号: CN112133786B 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 赵赞良;王肖肖;付洪涛;安艳龙;刘世科;杨明明;房海冬;仲志海 申请(专利权)人: 宁夏隆基乐叶科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/306;H01L31/0236;C09K13/04
代理公司: 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 代理人: 张智锐
地址: 750021 宁夏回族自治区*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 本公开涉及PERC电池的背抛光方法。该方法包括:S1、硅片抛光前的预处理;S2、硅片背面抛光处理;其包括:将硅片置于HF/H2SO4/HNO3/H2O的混合溶液中进行背面抛光,以形成类正方或长方形结构的制绒面;其中,HF、H2SO4、HNO3与H2O的体积比为1:0.3‑1.5:2.6‑3.0:1‑1.8,抛光温度为1‑12℃,抛光时间为20‑70s;S3、硅片的后处理。本公开提供的一种PERC电池的背抛光方法,通过采用新的酸抛光配比——富硫酸,低硝酸的配比,以在硅片的背面形成微观类正方或长方形结构,以提高硅片背面微观结构的平整度,从而解决了长波光子的损失和复合的损失,同时提高了硅片背面的光反射率、电池片的钝化能力和电池片的电性能。
搜索关键词: perc 电池 抛光 方法
【主权项】:
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