[发明专利]一种清洗组件

摘要

本发明提供了一种清洗组件，该清洗组件用于清洗晶圆表面，该清洗组件包括位于晶圆上方的支撑臂、与支撑臂转动连接且抵压在晶圆表面的清洗刷，清洗刷相对支撑臂的转动方向与晶圆的表面垂直。还设置有驱动清洗刷相对支撑臂转动以对晶圆表面进行清洗的驱动装置。还包括嵌设在清洗刷内且用于向晶圆表面喷洒清洗剂的喷嘴。通过采用在清洗刷内嵌设用于向晶圆表面喷洒清洗剂的喷嘴，使清洗刷及喷嘴为装配在一起的组合件，与现有技术中采用清洗刷及喷嘴分开设置的方式相比，本发明的方案所占用的空间更小，提高设备布局的灵活性。且由于在清洗刷内设置喷嘴，喷嘴喷洒出清洗剂后，旋转的清洗刷能够将清洗剂带到晶圆表面的更大区域内，从而提高清洗效果。