[发明专利]研磨头气动装置及研磨头有效
| 申请号： | 202010695429.2 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111823129B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 鲁容硕;张月;卢一泓;刘青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 赵永刚 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨头气动装置，包括：底部膜片；边缘侧壁，设置在所述底部膜片上表面边缘，所述边缘侧壁呈环形；顶板，盖设于所述边缘侧壁的顶部，以使所述底部膜片、边缘侧壁和顶板之间形成第一腔体；所述顶板上设置有供气体通过的通道；分隔结构，在所述第一腔体内呈环形设置，所述分隔结构的顶部与所述顶板抵接，所述分隔结构的底部与所述底部膜片抵接，以将所述第一腔体分隔为至少两个能通过所述通道分别进行充气的第二腔体；其中，所述分隔结构包括第一侧壁和第二侧壁以及至少由所述第一侧壁、第二侧壁和底部膜片共同构成第三腔体。本发明能够避免相邻可充气腔体之间的干扰，提高对晶圆压力的控制能力。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 气动 装置 | ||
【主权项】：
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