[发明专利]一种Z轴梯度磁场传感器芯片

摘要

本发明实施例公开了一种Z轴梯度磁场传感器芯片，该芯片包括：晶圆基板；至少一个闭合感应线圈，感应线圈的纵剖面为凹凸齿状结构，至少感应线圈的齿顶面段与晶圆基板之间填充有支撑结构；磁阻元件，磁阻元件通过连接引线连接构成磁阻元件链路，磁阻元件链路与接触电极连接；感应线圈、磁阻元件、连接引线和接触电极均位于晶圆基板的同一表面；感应线圈的齿底面段位于磁阻元件的正上方或者两侧上方，或者，感应线圈的侧面段位于磁阻元件的侧面；感应线圈感测Z轴方向磁场变化以产生感应电流，磁阻元件将感应线圈的感应电流在水平平面内产生的平面磁场转换为磁电阻值的变化。本发明实施例中，可以实现Z轴方向磁场的高精度检测。