[发明专利]除尘管道及扩散设备在审
申请号: | 202010691355.5 | 申请日: | 2020-07-17 |
公开(公告)号: | CN112077084A | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 安重镒;李相遇;金成基;熊文娟;蒋浩杰;李亭亭;丁云凌 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司 |
主分类号: | B08B9/032 | 分类号: | B08B9/032;H01L21/67 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 郎志涛 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明属于除尘设备技术领域,具体涉及一种除尘管道及具有该除尘管道的扩散设备。本实施方式中的除尘管道包括管体和至少一个吹气单元,管体的内部设有用于排气气流流动的管腔,吹气单元用于与气源相连通,吹气单元上的至少部分结构设于管腔内,吹气单元设于管腔内的至少部分结构上设有至少一个吹气孔。根据本申请中的除尘管道,将吹气单元与气源相连通,通过吹气孔向管体的管腔内通入除尘气流,除尘气流冲击附着在管体的内壁上的灰尘杂质并使灰尘杂质脱落,最终将管腔内的灰尘杂质随排气气流一同排出管腔,保证管腔的内部的排气气流的通畅,减少或避免管腔内部堵塞现象的发生,提高设备运行的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 除尘 管道 扩散 设备 | ||
【主权项】:
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